Zygo 3D Optical Profiler光学轮廓仪
1.导言
Nexview 3D光学表面轮廓仪擅长测量从超光滑到非常粗糙的所有表面，具有亚纳米精度，与视场无关。
测量类型包括平坦度、粗糙度、大台阶和分段、薄膜和陡坡，特征高度从<1 nm到20000µm不等。
功能
Z精度：小于1nm
物镜：5倍、10倍、50倍
变焦镜头：1X、1.5X、2X
提供自动灯光、自动对焦、对焦辅助和自动倾斜功能
多扫描长度从5µm到145µm
可扩展扫描长度
高级分析工具
电动炮塔
舞台操纵杆控制：X、Y、俯仰和横滚
2.安全和注意事项
a） 在聚焦任何样本之前，始终先设置Z-stop。
b） 始终使用5倍物镜聚焦样品。
c） 降低物镜时，始终透过目镜观察。
d） 透镜已校准。切勿调整镜片或让镜片接触样品。
e） EMO按钮位于操纵杆的左上角。
如果设备或人员面临直接危险，请按下EMO按钮。
这将停止所有动作（目标、舞台等），并可以防止碰撞。
f） 注意设备上的安全标志。
g） 按照此处描述的操作程序安全使用该工具。
3.操作程序
在开始之前，在FOM中激活此工具。完成后将其停用。
3.1启动软件
1.登录FOM。
2.在电脑桌面上，双击Mx的快捷方式启动软件。
3.单击LoadApplication图标（左侧第一个图标），从弹出对话框中选择Micro.appx（图1）。然后单击“打开”。
3.2加载样本
1.使用操纵杆（图2）顺时针转动手柄来升起显微镜。将其升高到足以装载样品的高度。
2.把你的样品放在舞台上。不要使用任何胶带或胶水。
3.点击软件屏幕左栏中的5X框，将物镜切换到5X（图3）。
注意：在进行任何测量之前，始终使用5X镜头进行对焦。
4.使用操纵杆将显微镜降至样品最高表面上方约2厘米处。
您可以通过按下相应的按钮选择快速或中速（图2）。
5.设置Z挡。继续使用中速将显微镜降至样品最高表面上方约5毫米的位置。
按下Z停止按钮两次，为您的样品设置新的Z停止位置。
设置后，Z停止按钮（图2）上的LED灯应为红色且不闪烁。
稍微抬起显微镜，LED灯应该变成绿色。
注意：这一步非常重要，以避免让镜片接触到您的样品，这会损坏镜片。
更换样本后，始终设置新的Z停止。
3.3测量
1.使用中速操纵杆缓慢升起显微镜，聚焦在样品表面。如果光线太暗或太亮，请单击软件屏幕图标栏右侧的Auto LL图标（图4），以自动调整对焦的光强。
2.当你获得良好的焦点时，使用操纵杆缓慢地上下移动镜头，直到你在屏幕上看到一些条纹，如图5所示。
每当你在条纹上看到红色时，点击“自动LL”图标以自动调整光线。
继续缓慢地上下移动镜头，以便在屏幕上看到最亮的条纹。
3.如果需要，当屏幕上的条纹最亮时，单击Auto LL图标。
然后单击自动倾斜图标（图4）以自动调平感兴趣的表面。
4.从软件屏幕的左列中选择适当的扫描长度（图4）。
合适的扫描长度是胶片预期厚度或台阶高度的两倍。
5.之后，单击Measure图标（图4）进行测量。
一旦完成，表面形貌将显示在屏幕的右侧。
您可以通过单击分析选项卡来查看3D地形（图4）。
5.要保存线条轮廓，请右键单击它并选择导出。要保存3D图像，请单击
在右上角保存数据。
6.完成所有测量后，关闭Mx，不保存应用程序。
举起显微镜取出样品。
7.在FOM中注销。
