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Zygo Verifire 激光干涉仪
时间: 2025-10-28浏览次数：
Zygo Verifire 激光干涉仪
Zygo Verifire 激光干涉仪
产品核心定位与技术亮点
Zygo Verifire 是一款工业级高功率菲佐干涉仪，核心优势在于搭载专利 QPSI™（快速相位移相干涉）采集技术，可在振动环境下实现真正的同轴共光路表面形貌测量，同时兼容传统 PSI（相位移相干涉）13 桶算法，兼顾测量精度与抗干扰能力，适用于精密光学元件的表面形态检测场景。
关键系统参数
1. 光学与采集系统
参数类别 4 英寸（102mm）型号 6 英寸（152mm）型号 补充说明
测试光束直径 4 英寸 6 英寸 适配不同尺寸光学元件检测需求
对准视场角（Alignment FOV） ±3 度 ±2 度 辅助快速定位被测件，确保光路对准
光学中心线距离 4.25 英寸（108mm） 4.25 英寸（108mm） 固定尺寸，保障测量光路稳定性
相机参数 分辨率 1024×1024 像素，8 位数字化，帧率 100Hz 同 4 英寸型号 高帧率支持快速数据采集，8 位数字化保障灰度精度
采集时间 130-300ms 130-300ms 快速响应，提升检测效率
放大倍率 1-6 倍可变 1-6 倍可变 可根据被测件细节需求调整观测精度
偏振光瞳 接近圆形（1.2:1 或更优） 接近圆形（1.2:1 或更优） 确保光束偏振一致性，减少测量误差
调焦范围 ±2.5m ±5.5m 6 英寸型号调焦范围更广，适配大尺寸元件
2. 激光源参数
类型：高功率稳定氦氖（HeNe）激光，符合 ANSI 3R 类安全要求（Class IIIa）
波长：633nm（红光波段，适用于多数光学元件反射 / 透射测量）
频率稳定性：＜0.0001nm，极低频率漂移保障长期测量精度
输出功率：＜5mW，高功率提升信号强度，适配低反射率元件
相干长度：＞100m，长相干长度支持大光程差测量场景
运行环境要求
环境指标 具体要求 备注
温度 15-30℃（59-86℉） 需在该范围内稳定运行，若需满足性能指标，建议温度设定在 20-23℃（性能验证基准温度）
温度变化率 ＜1.0℃/15 分钟 避免快速温变导致设备部件热胀冷缩，影响测量精度
湿度 5%-95% 相对湿度，无冷凝 防止湿气导致光学元件发霉、电子部件短路
振动隔离 QPSI 技术下无需额外振动隔离；PSI 采集模式下建议配置 QPSI 技术为核心抗振优势，降低对安装环境的振动控制要求
四、测量性能指标（基于 20-23℃稳定温度环境）
性能参数 具体数值 定义与计算依据
RMS 简单重复性 ³ ＜0.06nm（λ/10,000，2σ） 对 4 英寸短平面腔进行 36 次连续测量（16 次平均），取 RMS 标准偏差的 2 倍
RMS 波前重复性⁴ ＜0.35nm（λ/1,800，均值 + 2σ） 36 次连续测量（16 次平均）中，所有偶数次测量与 “奇数测量平均值合成参考值” 的差异均值，加 2 倍标准偏差
峰值像素偏差⁵ ＜0.5nm（λ/1,200，99.5 百分位） 36 次连续测量（16 次平均）的像素级标准偏差图中，99.5 百分位对应的偏差值，反映时间变化性（A 类不确定度）
物理与配置信息
1. 物理规格
型号 尺寸（长 × 宽 × 高） 重量
4 英寸 69×31×34cm（27.3×12.1×13.4 英寸） ≤85 磅（38kg）
6 英寸 92×31×34cm（36.4×12.1×13.4 英寸） ≤100 磅（45kg）
2. 硬件与软件配置
计算机：高性能戴尔（Dell）PC，搭载 Windows 10 系统
软件：64 位 Mx™软件，提供测量控制、数据处理与结果分析功能
操控配件：iOS 系统触摸屏智能遥控器（无线）；带编码的 1-5 倍变焦 / 调焦组件（适用于量产零件检测）
可选配件：振动隔离装置（需配合压缩空气使用）、其他专用检测附件（详见 Zygo 配件指南）
3. 压缩空气需求（可选振动隔离用）
压力：80psi（5.5bar）
要求：干燥、过滤后的气源，避免水分 / 杂质损坏振动隔离部件
核心术语注解
QPSI™：Zygo 专利快速相位移相干涉技术，核心优势是 5ms 快门速度，抗振动能力强，无需复杂振动隔离环境。
PSI 13 bucket algorithm：传统 13 桶相位移相算法，测量精度高，但对环境振动敏感，需在稳定环境下使用。
λ（波长）：此处特指激光源波长 633nm，性能指标中 “λ/XXX” 为便于理解的精度表述方式（如 λ/10,000 即 633nm÷10,000≈0.063nm，与 RMS 简单重复性＜0.06nm 一致）。
