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Zygo MicroLUPI 干涉仪
时间: 2025-10-28浏览次数：
Zygo MicroLUPI 干涉仪产品基础信息1. 产品定位与核心功能MicroLUPI 是 Zygo 推出的微孔径激光不等程干涉仪（LUPI），基于相移干涉技术，主打微光学元件的非接触式高速自动化测量，可精准检测球面 / 平面光学元件的表面形貌、曲率半径，也支持光学阵列的批量测量，配备 3mm 直径准直测量光束，核心部件含花岗岩底座、稳定门架立柱、电动调焦机构及 X/Y 电动载物台。2. 可选
Zygo MicroLUPI 干涉仪
产品基础信息
1. 产品定位与核心功能
MicroLUPI 是 Zygo 推出的微孔径激光不等程干涉仪（LUPI），基于相移干涉技术，主打微光学元件的非接触式高速自动化测量，可精准检测球面 / 平面光学元件的表面形貌、曲率半径，也支持光学阵列的批量测量，配备 3mm 直径准直测量光束，核心部件含花岗岩底座、稳定门架立柱、电动调焦机构及 X/Y 电动载物台。
2. 可选配置
配置项、具体参数 / 说明
物镜 50X SLWD（超长效工作距离），NA 值 0.45（可用 0.38）；100X SLWD，NA 值 0.73
激光波长 标准 632.8nm，可定制蓝色至近红外波段
Z 轴数字指示器 增量式 Z 轴长度计，用于高精度曲率半径测量（部分型号标配）
真空吸盘 适用于 3/4/6 英寸晶圆固定的载物台真空吸盘
3. 关键技术参数
激光：稳频氦氖激光（光纤输出），功率≤1mW，相干长度≥10m
运动系统：X/Y 载物台与 Z 轴调焦均为直流无刷微步进电机驱动，行程 152mm（6 英寸），分辨率 0.1μm（4μin），最大速度 12.7mm/s（0.5in/s）
成像与观测：最大 640×480 像素相机，9 英寸单色视频监视器实时显示，支持手动 / 自动对焦
环境要求：温度 15-30℃（59-86°F），温度变化率＜1.0℃/15 分钟，湿度 5%-95%（无冷凝），振动隔离频率 1-120Hz
激光安全：符合 DHHS II 类激光标准，仅发射可见红光，无不可见辐射
安装与初始化
1. 安装前准备
环境要求：需混凝土地面减少振动，避免空调 / 风扇直吹导致气流扰动，远离烟雾、粉尘等光学污染源
** utilities 需求 **：100-240VAC 50/60Hz 电源（带接地），振动隔离台需≥60psi 压缩空气（1/4 英寸接口），真空吸盘需 1/8 英寸 NPT 接口真空源
安装限制：必须由 Zygo 培训人员操作，设备开箱后需在安装环境中静置 24 小时适应温湿度
2. 核心安装步骤
定位振动隔离系统与工作台，依次安装花岗岩底座、立柱、Z 轴载物台及 MicroLUPI 机头
连接激光电源、运动控制器、电机驱动器等线缆，确保硬件密钥（Hardware Key）接电脑并行口，控制器板线缆正确连接
安装物镜（对准燕尾槽销钉后拧紧锁定螺丝），调整物镜工作距离（根据被测件名义曲率半径匹配刻线）
校准机头与 X/Y 载物台：移除物镜后放置光学平镜，调节 X/Y 轴调节螺丝使干涉条纹数量最小化
3. 开机初始化流程
用钥匙开启激光电源，待 “Locked” 指示灯亮起；通过电源管理器开启所有组件
电脑登录 Windows NT（默认用户名 “zygo”），打开 MetroPro 软件并加载 MicroLUPI.app 应用
执行 X/Y 载物台与 Z 轴 “回零”（Home）操作，设置 Z 轴防撞保护（将物镜移动至略小于工作距离处，按下 Z Stop 按钮至绿灯常亮）
测量操作流程
1. 基础操作准备
控制器使用：通过 Z 轴操纵杆调节物镜高度（推前 / 拉后控制升降，偏转幅度控制速度），X/Y 操纵杆移动载物台，紧急停止按钮（Motion Stop）可中断所有运动
光强调节：按 F4 打开光强窗口，通过数字键盘调整至所有指示器为绿色（避免饱和导致数据丢失），F5 可自动设置光强
2. 系统误差校准（关键步骤）
校准目的：消除仪器光学系统固有误差，提升测量精度，需在更换物镜、调整相机模式 / 相位分辨率或环境温度变化后重新校准
操作步骤：
放置 Zygo 标准参考球（避免触碰光学表面），调节 X/Y/Z 使球心对准并消隐条纹
在测量控制窗口设置相位平均次数（建议为常规测量的 3 倍，最低 8 次），关闭 “Subtract Sys Error”
按 F1 测量后保存数据（命名格式如 “SysErrLN1x.dat”，区分相机模式与相位分辨率），后续测量时开启 “Subtract Sys Error” 并加载对应误差文件
3. 典型测量场景（球面件曲率半径）
选择匹配物镜（50X 工作距离 13.8mm，100X 工作距离 4.7mm），放置被测件并通过载物台操纵杆居中
开启 AutoNULL（可选 Power/Focus 模式），设置横向公差（Lateral Pass Limit）、功率 / 聚焦公差（Power/Focus Pass Limit）
点击 “Auto Calibrate” 校准 X/Y/Z 校准系数（拟合质量需接近 1），执行 AutoNULL 优化条纹
按 F1 开始测量，系统自动采集 “猫眼位置”（cat’s eye）与 “共焦位置”（confocal）数据，计算曲率半径；批量测量可通过 “Pattern Editor” 创建矩形 / 圆形测量路径（设置行列数、间距等参数）
维护与售后
1. 日常维护
光学部件清洁：
灰尘：用压缩气吹除，残留灰尘用镜头纸蘸异丙醇 / 甲醇单方向擦拭
指纹 / 油污：先蘸 1% 中性肥皂液擦拭，再用蒸馏水去除残留，最后用酒精收尾（禁止重复使用擦拭材料）
机械与电子部件：外部表面用蘸 mild 清洁剂的软布擦拭，禁止拆卸电机驱动器、控制器等组件（无用户可维修部件）
2. 故障与售后
保修政策：设备自发货日起 1 年质保（材料 / 工艺缺陷），停产后 5 年内提供标准支持，之后提供 “最大努力” 支持；保修服务含免费维修 / 更换（需承担运输、清洁与校准费），更换部件质保 90 天或原质保剩余期限（以长者为准）
退货要求：未使用且包装完好产品 30 天内可退货，收取 20% restocking fee；定制产品不可退货，退货需先获取 Return Authorization（RA）编号
技术支持：北美地区可拨打 (800) 994-6669（周一至周五 8:00-17:00 EST），其他地区联系当地代理商，需提供设备型号、序列号及软件版本
安全与合规
1. 激光安全操作
禁止直视激光束或其强光反射，设备开启时确保激光出射口无遮挡
激光发射控制：激光电源上的带钥匙开关为总控（关闭后无辐射），“Emission Indicator” 灯亮表示可能有激光输出
安全标识：设备贴有 II 类激光警告标（“CAUTION LASER RADIATION DO NOT STARE INTO BEAM”）、出射口标、非联锁保护壳标等，需保持清晰可见
2. 合规认证
符合欧盟 EMC 指令与低电压指令，满足 EN 55011（ISM 设备射频干扰）、EN 61010-1（测量设备安全）、EN 60825-1（激光安全）等标准
具备 CE 认证、JISO 9001 认证，相关符合性声明存档于 Zygo 美国总部
