ZYGO ZMI-1000位移测量干涉仪系统
ZMI-1000位移测量干涉仪提供了提高精密运动系统精度所需的工具和性能。
主要特点
*位移分辨率高达0.6 nm，具有出色的叠加和对准能力。
*以高达1.1米/秒的速度测量运动，以提高吞吐量。
*位置测量带有时间戳，以提高动态精度。
*光纤系统降低了远程接收器的成本，并消除了测量区域的热量。
*节省成本的基于VME的系统电子设备允许在标准VME背板中使用板。
高分辨率
纳米技术在半导体生产、数据存储制造和精密机械中的应用对运动测量设备提出了高分辨率的要求。ZMI-1000的响应分辨率为0.6 nm，这得益于新的电子架构和改进的相位检测。
高速下的精度
获得专利的20 MHz外差激光器和基于ASIC的相位检测器使ZMI能够在高达1.1米/秒的速度下保持0.6 nm的分辨率。位置测量带有时间戳，以提高动态精度。现在，即使是最快的机器也可以被精确地控制和表征。
六轴，一台激光器
亚微米定位通常需要同时测量几个自由度。因为ZMI-1000的一个轴需要的光功率不到激光的1/30，所以同时测量六个轴只需要一个激光头。
高可靠性外差
ZMI克服了单频（DC）系统典型的对准困难和环境敏感性。我们的专利、AOM生成的双频设计提供了精密运动应用所需的高可靠性和易用性。ZMI的20 MHz频率差是旧塞曼系统带宽的十倍，提供了其他设计所缺乏的快速目标速度和精确时间戳。
现实世界的解决方案
测量应用并不总是在实验室的受控环境中或仅限于线性运动。使用ZMI-1000，您可以测量小至0.6 nm和20米的线性位移，以及高达60度的角旋转，分辨率为0.1µrad
用位置示波器工具进行简单动态分析
为了简化动态分析过程，ZMI包含旨在帮助动态运动表征过程的内部函数。内部存储和触发选项允许用户获取高达133 kHz的位置和时间数据流。然后可以分析这些数据，确保每个数据点精确到纳米，位置的时间已知为16ns。
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