Zygo的ZMI 2000系统位移测量干涉仪系统
位移测量干涉法提高了定位精度。Zygo的ZMI 2000是业界性能最好的位移测量干涉仪（DMI）系统，为实时位置控制提供最高分辨率、最高速度和最低数据年龄不确定性。Zygo是一家世界级的干涉计量公司，在设计、工程和制造的各个层面为您提供支持。Zygo是您的研究、工程和生产团队的延伸，提供计量解决方案。
ZMI 2000作为一种计量系统，具有无与伦比的性能和灵活性。ZMI 2000的所有性能优势，包括以下集成选项：
•ZMI系统机箱，带PCI-VME，用于处理器速度的实时数据，
•配备串行或GPIB接口的ZMI系统机箱，提供更具成本效益的解决方案，
•ZMI PC，用于集成到ISA插槽中。ZMI 2000系统在全球标准实验室中用于测量和高分辨率和高频机械运动的校准：
•压电传感器校准，
•线性刻度校准，
•旋转秤校准，
•AFM载物台校准。
ZMI 2000系统激光头
激光源可能是位移测量干涉仪中最关键的部件。
为了控制和保证激光头质量，Zygo生产自己的激光管。
专有的管设计，结合最先进的组装和测试设施，提供了一种高度可靠的激光头，具有：
•寿命>50000小时，
•最长基本保修期为18个月，
•延长保修期长达5年，
•单个头上最多8个干涉测量轴，
•多头同步。
ZMI 2000系统集成特性
•激光头输出和测量板输入的光功率监测器。
•内置激光头诊断功能。
•位置、时间和速度，均在P2或VMEbus上独立可用。
•可编程同步信号。
•测量板可用于任何标准6U VME或ISA背板。
ZMI 2000系统技术与我们位于康涅狄格州米德尔菲尔德的世界级光机设计和制造中心相结合，使Zygo Corporation成为您成功设计、制造和集成实时位置控制系统的关键合作伙伴。
ZMI 2000系统性能
4通过PMI*、2通过PMI、1通过LI**
位置分辨率：λ/4096（0.15nm）、λ/2048（0.31nm）、λ/1024（0.62nm）
位置范围：±5.3米、±10.6米、±21.2米
速度限制：1.05 m/s、2.1 m/s、4.2 m/s
最大加速度：980 m/s2，（100 g）
数据年龄：335纳秒
数据时代的不确定性
两轴：无补偿，±15ns（ZMI 2001）/±12ns（ZMI 2002）/±16ns（ZMI-PC）
补偿，±1.2 ns（ZMI 2001，ZMI 2002）
补偿，±1.5 ns（ZMI PC）
三轴：无补偿，±19ns（ZMI PC）
补偿，±1.7 ns（ZMI PC）
八轴：无补偿，±36ns（ZMI 2001）/22ns（ZMI 2002）
补偿，±1.4 ns（ZMI 2001，ZMI 2002）
ZMI 2000系统激光头
类型：氦氖，连续波，双频
最小/典型功率：425µW/600µW，最多支持8个轴
寿命：>50000小时，18个月保修
分频：20 MHz±1600 Hz
真空波长精度：±0.1 ppm（寿命）
真空波长稳定性：±0.01 ppm（24小时）
参考信号：光纤
ZMI 2000系统测量板
#每块板的轴数：1（ZMI 2001，ZMI PC）/2（ZMI 2002）
电源要求：+5V±5%@3.5A（ZMI 2001、ZMI 2002、ZMI PC）+12V±10%@0.1A（ZMI-PC）
位置格式：36位-2补码
Velocity格式：32位-2补码
时间范围：107.4秒
时间格式：32位-2补码
时间分辨率：25纳秒
光纤信号：参考和测量
错误状态：参考（信号、PLL、DLL）
测量（缺失、脱落、故障）
速度（板，用户定义）
加速
溢出（32位、36位）
系统同步：打卡或打卡
ZMI VME合规性：VMEBus规范修订版C.1
6U尺寸
A16或A24寻址
D16或D32数据传输
D08（0）中断确认周期
ZMI PC合规性：UL94V0
全长ISA卡
16位ISA总线
32位P2总线
