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Hine Automation公司Constellation 系列 真空晶圆传输系统
时间: 2026-05-06浏览次数：
Hine Automation公司Constellation 系列 真空晶圆传输系统
Hine Automation公司Constellation 系列 真空晶圆传输系统
产品定位
品牌：Hine Automation
系列：Constellation Systems
类型：Cassette-To-Cassette 真空晶圆传输系统
应用：半导体、太阳能、面板行业，面向OEM设备集成
全系列通用核心特性
可靠性：MCBF ＞3,000,000次，MTTR＜2 小时
晶圆规格：最大支持200mm（SEMI 标准）
自动化功能：晶圆映射、跨槽检测、安全联锁
环境兼容：高真空、耐温 **≤100℃**
通讯接口：RS-232 + Ethernet
合规认证：SEMI S2、CE
结构设计：紧凑体积、模块化、可定制
各机型核心配置
型号 结构面数 晶圆盒负载口 标配机械臂 标配对准器
HA-200 4 面 1 个 HA-3.0 HA-71A（选配）
HA-400 4 面 1 个 HA-5.0 HA-75
HA-500 5 面 1~2 个 HA-5.0 HA-75
HA-600 6 面 1~2 个 HA-5.0 HA-75
HA-800 8 面 1~2 个 HA-5.0 HA-75
关键技术参数
传输高度：1100mm
真空压力：＜5.00×10⁻⁷ Torr
漏率：5.00×10⁻⁹ scc He/sec
供电：208 VAC，20A，单相
接触材料：6061-T6 铝、300/400 不锈钢、Viton、硼硅玻璃
接口标准：200mm MESC
可选配件
光学 / 机械对准器
SEMI 标准 / 定制末端执行器
单 / 双末端执行器
25 片 / 50 片晶圆盒
盒隔离管路、狭缝阀
公司简介
Hine Automation 是自动化系统与机器人组件设计制造商
服务半导体、太阳能、平板显示等行业OEM 客户
优势：高可靠性、低成本、快速响应、可定制设计
关键问题
问题：Constellation 系列各机型最核心的差异是什么？分别面向什么应用规模？答案：核心差异为结构侧面数量与晶圆盒负载口数量：HA-200/400 为4 面、1 负载口，是入门 / 基础方案；HA-500 为5 面、2 负载口；HA-600 为6 面、2 负载口；HA-800 为8 面、2 负载口，面数越多，可扩展工艺工位越多，适合更高集成度产线。
问题：该系列真空传输系统的真空性能指标是什么？可达到什么真空等级？答案：基础工作压力 **＜5.00×10⁻⁷ Torr**，漏率5.00×10⁻⁹ scc He/sec，属于高真空级别，满足半导体晶圆制程对真空环境的要求。
问题：该设备为何适合半导体 OEM 厂商使用？核心优势体现在哪些方面？答案：优势包括：＞300 万次 MCBF高可靠降低停机成本；自带晶圆映射、跨槽检测等高级功能，减少 OEM 开发工作量；紧凑体积节省空间；标准化 + 可定制兼顾通用性与特殊性；SEMI S2/CE认证缩短合规周期。
