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Zygo MicroLUPI 干涉仪2025-10-28Zygo MicroLUPI 干涉仪产品基础信息1. 产品定位与核心功能MicroLUPI 是 Zygo 推出的微孔径激光不等程干涉仪（LUPI），基于相移干涉技术，主打微光学元件的非接触式高速自动化测量，可精准检测球面 / 平面光学元件的表面形貌、曲率半径，也支持光学阵列的批量测量，配备 3mm 直径准直测量光束，核... -
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