欢迎浏览厦门控匠自动化科技有限公司
行业资讯
Leybold THERMOVAC TTR 91/96/911/916 N 系列真空变送器
时间: 2026-04-15浏览次数：
Leybold THERMOVAC TTR 91/96/911/916 N 系列真空变送器
Leybold THERMOVAC TTR 91/96/911/916 N 系列真空变送器
产品定位与核心优势
本系列为MEMS-Pirani 固态皮拉尼真空变送器，面向中低真空测量，核心优势：
MEMS 固态传感：抗震、耐冲击、耐放气
温度独立补偿：测量稳定、重复性高
安装无方向限制，不锈钢坚固外壳
360°LED 环形指示灯，状态一目了然
可选显示屏、数字接口、防腐涂层、长管烘烤型
型号与版本区分
型号 特性 接口 / 配置
TTR 91 N 基础型，无开关 模拟量输出
TTR 91 SN 带2 路开关 模拟 + 继电器
TTR 96 N 涂层防腐型 模拟 + 2 路开关
TTR 911 (C/S)N 数字接口型 EtherCAT/Profibus/RS232
TTR 916 N 显示 + 涂层型 显示屏 + 防腐
C 版本：传感器带 **Parylene HT®** 涂层，耐腐蚀性气体
S 版本：带继电器开关点
接口：FCC68 / RJ45
核心技术参数
测量性能
测量范围 5.0×10⁻⁵ mbar ～ 大气压
测量原理 MEMS-Pirani 热传导
典型精度 1×10⁻³～100 mbar：±5%；100 mbar～大气压：±25%
重复性 1×10⁻³～100 mbar：±2%
模拟输出 0~10 V DC（对数输出）
输出公式 Vout = log₁₀(P)×1.286 + 6.143
分辨率 / 刷新 16 bit / 100 Hz
电气与环境
供电电压 9～30 V DC
功耗 ＜1.2 W
继电器容量 1 A @ 30 V AC/DC（阻性）
耐压 6 bar
工作温度 0～40℃
存储温度 -20～65℃
最高烘烤温度 85℃（非工作状态）
防护等级 IP40
死体积 2.80 cm³（DN16 ISO-KF）
重量 约170 g
功能与配置
状态指示
360°LED 环形灯：实时显示传感器状态
可选LCD 触控显示屏：显示压力、单位、参数、状态
开关输出
最多3 路继电器，用于过程控制与报警
设定范围：2.7×10⁻⁴～1000 mbar
数字接口（高配版）
EtherCAT、RS232、Profibus
便于接入 PLC 与自动化系统
特殊版本
长管型：支持更高烘烤温度
防腐涂层型（C）：适用于腐蚀性工艺气体
典型应用
分析仪器、研发实验室
真空干燥、前级泵真空监测
电离规 / UHV 规控激活
工业过程控制、一般真空系统
关键问题
TTR 91/96/911/916 N 系列采用什么传感技术，相比传统皮拉尼有何优势？
答：采用MEMS-Pirani 固态皮拉尼技术；优势是抗震、耐冲击、耐放气、响应更快、精度更高、温度补偿更稳定、安装不受位置影响，更适合工业严苛环境。
该系列变送器的模拟输出是什么类型，计算公式与量程对应关系是什么？
答：输出为0~10V 对数电压信号；计算公式：Vout = log₁₀(Pₘᵦₐᵣ)×1.286 + 6.143，覆盖量程5×10⁻⁵ mbar ～ 大气压。
C 版本与普通版本的核心区别是什么，适用场景有何不同？
答：C 版本传感器表面带有Parylene HT® 防腐涂层，可耐受腐蚀性 / 活性气体；普通版本仅适用于洁净气体；C 版本更适合半导体、镀膜、化工等恶劣工艺环境。
