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Oerlikon Leybold Vacuum TURBOVAC 系列涡轮分子泵操作指南
时间: 2026-04-15浏览次数：
Oerlikon Leybold Vacuum TURBOVAC 系列涡轮分子泵操作指南
Oerlikon Leybold Vacuum TURBOVAC 系列涡轮分子泵操作指南
产品概况
品牌：Oerlikon Leybold Vacuum
系列：TURBOVAC 35 LS~1000C
结构：油脂润滑轴承、涡轮分子泵结构
必备配件：TURBOTRONIK 变频器、前级真空泵
特殊型号：C 型配备轴承 / 电机吹扫气保护
安全注意事项
机械风险
高速转子存巨大动能，禁止无法兰空载运行
泵体卡死会产生大扭矩，需按规定扭矩紧固法兰
电气风险
泵与变频器连线最高400V，维护必须完全断电
仅可使用指定变频器与连接线
热风险
运行温度 **＞70℃**，存在烫伤风险，需防护隔离
介质风险
标准型不可抽腐蚀性 / 含粉尘气体
C 型需配合吹扫气使用，处理腐蚀性气体
防爆区域不可使用标准型
核心技术参数（关键型号）
型号 抽速 (N₂) L/s 极限真空 mbar 启动时间 (min) 重量 (kg) 最大功耗 (VA) 前级法兰
35 LS/LS2 25/32 ＜5×10⁻⁸ 2 2 45 16 KF
50 33~55 ＜5×10⁻⁸ 2 2 45 16 KF
151/151C 145 ＜1×10⁻¹⁰ ≈2 8 680 25 KF
361/361C 345 ＜1×10⁻¹⁰ ≈2 12 680 25 KF
600C 560 ＜10⁻¹⁰ 3 12 680 40 KF
1000C 850~1100 ＜10⁻¹⁰ 4 25 680 40 KF
安装要求
环境条件
环境温度：≤55℃
磁场限制：5~7mT，超量需屏蔽
真空腔连接
高真空法兰：KF/ISO-K/CF/ANSI
紧固扭矩：15~50Nm，按规格执行
必须安装碎片防护罩
前级泵连接
配套TRIVAC 系列前级泵
加装防返油阀与吸附阱
冷却连接
风冷：风扇周围留 **≥20cm** 通风空间
水冷：水压3~7bar，流量30~80L/h，水温5~35℃
吹扫与放气
C 型必须接N₂/Ar惰性吹扫气
可选装断电自动放气阀
运行操作
启动
先启动前级泵，达到启动压力后开分子泵
同时开启冷却系统
烘烤
CF 法兰型可 **≤100℃** 烘烤
避免转子直接受热辐射
停机
先关分子泵→关前级泵→停机前吹扫 1 小时（腐蚀性气体）
同步关闭冷却，防止冷凝
放气
可通过高真空侧 / 前级侧 / 吹扫阀放气
升压速度遵循曲线，禁止超大气压
维护保养
轴承更换
35~361C：15000 小时
600C/1000C：10000 小时
清洁
轻度污染：真空烘烤清洁
重度污染：返厂拆解清洁
拆卸与存储
拆卸前充分吹扫、放气
密封法兰、放置干燥剂，装入 PE 袋存储
故障排查
无法启动：检查供电、变频器、前级压力、电机线缆
真空度不达标：系统泄漏、泵体污染、前级泵能力不足
过热：冷却不足、环境温度过高、负载过大
振动噪音：轴承损坏、转子失衡、系统共振
关键问题与答案
TURBOVAC 系列分子泵的 C 型与标准型核心区别是什么？
答：C 型配备吹扫气接口，可向轴承与电机腔通入N₂/Ar惰性气体，能处理腐蚀性 / 反应性气体；标准型仅可抽空气或惰性气体，不可处理腐蚀性介质。
该系列泵的冷却要求与选型依据是什么？
答：小型号（35/50）≤30℃、高真空下可自然冷却；环境温度高、烘烤、高负载时需风冷；151C 及以上型号、高温环境、连续高负荷必须水冷，水冷要求水压3~7bar、流量30~80L/h。
泵体维护的核心周期与禁止操作有哪些？
答：核心维护：轴承10000~15000 小时必须更换，吹扫气过滤器1~6 个月更换；禁止操作：非授权人员禁止拆解泵体，禁止改动转子部件，禁止无碎片防护罩运行。
