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HITACHI SAM PS100 系列基于压力的 PI 质量流量控制器
时间: 2026-02-26浏览次数：
HITACHI SAM PS100 系列基于压力的 PI 质量流量控制器
HITACHI SAM PS100 系列基于压力的 PI 质量流量控制器
产品概述
产品定位：PS100 系列是 Hitachi 开发的新型质量流量控制器（MFC），核心应用于半导体制造设备，针对热降解气体、腐蚀性气体（如 Cl₂、BCl₃）的流量控制需求设计，凭借无加热架构和压力不敏感特性，实现长期稳定的流量测量与控制。
核心价值：解决传统 MFC 在高温、腐蚀环境下的性能衰减问题，兼顾高精度、高速响应和高耐用性，适配半导体工艺中频繁启停、多气体切换的场景。
核心特性与优势
特性分类 关键特性 详细说明
测量架构 无加热式压力测量 1. 减少热降解气体在气路内的反应残留；2. 降低腐蚀性气体在高温 + 湿气条件下的腐蚀；3. 长期稳定测量与控制
压力适应性 改进的压力不敏感功能 1. 上游压力波动由机械调节器抵消；2. 下游压力波动由控制阀门补偿；3. 层流装置区域压力（P1/P2）始终稳定，保障流量控制精度
控制性能 高精度 ±1% S.P.（N₂，10-100% 量程），±0.1% F.S.（0.5-10% 量程）；线性度 ±0.5% F.S.；重复性 ±0.25% F.S.
控制性能 高速响应 稳定时间 < 0.8s，典型值 0.6s；零设定后快速截止气体，适配快速切换工艺
耐用性 长寿命阀门 采用压电致动器 + 钴镍合金膜片，优化驱动电路，阀门寿命达 1000 万次，适配 ALD 等频繁启停工艺
功能灵活性 多气体多量程 11 种 BIN 规格，流量范围 5 SCCM~5 SLM；支持气体类型 / 流量量程切换，无需更换 MFC
智能功能 自诊断 / 响应学习 1. 响应学习：统一流量上升特性（解决不同 MFC 启动位置 / 斜率差异）；2. 自诊断：异常运行检测、报警显示与通信通知
密封与兼容 抗腐蚀 + 合规 气路接触材质为 316L 不锈钢、PCTFE、镍钴合金；符合 EU-RoHS 和 CE 认证
关键技术规格
规格项 具体参数
流量量程（N₂等效） 5 SCCM~5 SLM（11 种 BIN，Multi-0~Multi-10）
流量控制范围 0.5~100% F.S.（出口压力 < 60kPa abs）
精度（N₂） 10-100% 量程：±1% S.P.；0.5-10% 量程：±0.1% F.S.
稳定时间（SEMI™ E17-91） <0.8s（典型值 < 0.6s）
阀门截止性能 <0.1% F.S.（按 BIN 全量程设定）
工作压力（入口） 常规压力型：230~600kPa（abs）；低蒸气压型：140~250kPa（abs）
工作压力（出口） 真空～60kPa（abs）
工作温度 15~50℃（气体温度需与环境温度一致）
气路材质 316L 不锈钢、PCTFE、镍钴合金
接头规格 92mm 1.125” Cseal / Wseal®
表面粗糙度 电解抛光（接头 / 传感器 / 基座）Ra=0.2μm；机械加工 Ra=0.8μm
重量 1.1kg
接口与电气连接
1. 接口类型与连接器
接口类型 连接器规格 核心引脚功能
模拟接口 9Pin D-sub 公头（M3 螺丝） 电源（+15V/-15V）、设定值输入（0-5VDC）、流量输出（0-5VDC）、阀门开关控制
RS-485 接口 9Pin D-sub 公头（M3 螺丝） 电源（+15V/-15V）、RS-485+/-、信号公共端
DeviceNet™接口 CM02-8DR5P-CF（D5）DDK 电源（11-25VDC）、CAN (H)/CAN (L)、屏蔽线
2. 电源要求
接口类型 电源参数
模拟 / RS-485 +15VDC±4%（90mA）、-15VDC±4%（60mA）
DeviceNet™ +11~25VDC（300mA~150mA）
型号编码规则与示例
1. 型号编码结构
型号前缀 接口类型 接头位置 密封类型 阀门类型 接头规格 固定码 可选码 流量量程
PS100 A = 模拟；D=DeviceNet™；L=RS-485 T = 顶部；U = 入口侧（RS-485 除外） M = 金属密封 C = 常闭 BA1=1.125” Cseal；BW1=1.125” Wseal® 0 NNN Multi-0~Multi-10（对应 5 SCCM~5 SLM）
2. 型号示例
型号：PS100ATMCBA10NNN Multi-5
含义：压力式 MFC + 模拟控制 + 顶部接头 + 9Pin D-sub + 金属密封 + 常闭压电阀门 + 1.125” Cseal 接头 + 无选项 + 流量量程 200 SCCM
