欢迎浏览厦门控匠自动化科技有限公司
行业资讯
MKS Type T3B 蝶阀（带 DeviceNet 接口）
时间: 2025-09-23浏览次数：
MKS Type T3B 蝶阀（带 DeviceNet 接口）安全信息符号定义手册中符号：“WARNING” 表示可能导致人员受伤的危险；“CAUTION” 表示可能导致产品损坏的危险；“NOTE” 表示需重点关注的重要信息。设备上符号：包含电源开 / 关（IEC 417 No.5007/5008）、接地（IEC 417 No.5017/5019/5020/5021）、交 / 直流（IEC 417
MKS Type T3B 蝶阀（带 DeviceNet 接口）
安全信息
符号定义
手册中符号：“WARNING” 表示可能导致人员受伤的危险；“CAUTION” 表示可能导致产品损坏的危险；“NOTE” 表示需重点关注的重要信息。
设备上符号：包含电源开 / 关（IEC 417 No.5007/5008）、接地（IEC 417 No.5017/5019/5020/5021）、交 / 直流（IEC 417 No.5031/5032/5033-a）、II 类设备（IEC 417 No.5172-a）、三相交流电（IEC 617-2 No.020206）、手部挤压风险（ISO 3864）、电击风险（ISO 3864 No.B.3.6）等，手册以表格形式详细说明各符号含义。
安全操作规范
机械安全：阀门未完全集成到系统前，活动部件存在伤人风险，需远离阀门开口，禁止将物体插入可能接触活动部件的开口；操作前需切断阀门的电气和气动电源。
部件与改装限制：禁止使用替代部件或未经授权改装阀门，维修需送至 MKS 校准服务中心，确保安全功能完好；仅允许合格人员进行部件更换和内部调整。
危险物料使用：若使用危险物料，需遵守安全规范，必要时彻底吹扫阀门，确保物料与阀门接触材料（含密封材料）兼容；吹扫需在通风橱下进行，且佩戴防护手套。
环境与压力要求：禁止在爆炸性环境中使用（除非经专门认证）；使用符合规格且兼容的接头，按制造商说明组装紧固；检查真空组件连接密封性；操作压力不超过额定最大压力（参考产品规格）；加压气源系统需安装爆破片；防止灰尘、金属屑等污染物进入设备；运行时远离阀门开口。
产品概述
核心构成与功能
组成部分：T3B 蝶阀由节流阀（带电机板电子外壳）、微处理器、驱动电路（无需单独控制器箱）、DeviceNet 通信接口及反映压力或阀门位置的模拟输出构成，通过 DeviceNet 网络发送的数字值控制阀门。
控制原理：基于数字压力 / 位置控制算法，引导阀门至压力或位置控制的合适位置，压力或位置设定值可通过数字 DeviceNet 命令发送；直接从 MKS Baratron 压力传感器读取控制用压力信号，所有操作设置通过 DeviceNet 协议控制。
数据存储与抗干扰：断电时，校准常数保存在非易失性存储器，重新上电后无需重新校准即可运行；采用金属外壳、内部设计优化、浪涌 / ESD 抑制网络及 RFI 滤波（所有输入输出），提升抗射频干扰和抗电磁噪声能力；使用全金属编织屏蔽电缆且两端正确接地时，符合欧盟 CE 认证测试标准。
关键参数
电源要求：需 24 VDC @ 3 Amp 输入电压（通过电源连接器供电）；若使用加热压力传感器且由阀门供电，需叠加传感器电源需求，阀门可为加热压力传感器提供最高 750 mA（高低传感器合计）电流。
控制范围：压力控制范围为传感器量程的 0.5%-100%，位置控制范围为 0°-90°；控制器重复性为 ±0.1% 满量程（FS）。
控制模式
压力控制：阀门移动以维持目标压力（设定值），支持模型基控制（Model Based）和 PID 控制两种算法。
模型基控制：控制周期内，算法根据当前压力、位置和设定值计算下一阀门位置，需知晓系统参数（如腔室体积、阀门电导）以优化控制；通过 “LEARN 功能” 获取腔室泵速与阀门位置关系（基于传感器类型、腔室体积等实际工况），通常初始安装时执行一次，流程包括设置腔室体积、选择体积估算器开关、配置压力传感器量程、设定学习流量、启动学习（持续约 45 秒，需保持流量稳定）。
PID 控制：设定值通过相位（Phase）和增益（Gain）两个参数优化响应，默认值可调整；相位控制压力对设定值变化的响应速度，过大会导致响应慢或振荡，过小会导致超调后振荡；增益使控制器跟踪设定值并最小化稳态误差，过高会导致超调，过低会导致响应慢。
位置控制：阀门移动至目标位置（设定值），无需反馈信号，编码器可提供用户所需反馈，但不用于闭环控制。
跳闸点（Trip Points）
基本配置：含 4 个软件跳闸点，可通过数字通信命令调整，压力高于 / 低于设定值时状态变化；跳闸点可配置监测压力或阀门位置（任意组合），其中 2 个可通过辅助连接器映射到硬件继电器。
关键参数：
滞后（Hysteresis）：默认 10%，可通过数字命令调整，用于补偿系统噪声，避免 “继电器抖动”，理想值接近但不小于峰峰值噪声。
延迟（Delay）：跳闸点报警状态需持续设定时间（0-10000 ms，默认 0）才会报告 “ON”，不同跳闸点（监测控制器对象压力属性、跳闸点对象阀门位置属性）可设置不同延迟值。
方向（Direction）：默认 “低”（压力低于设定值时跳闸点激活，LED 点亮，需压力高于滞后值才解除），可通过数字命令改为 “高”（压力高于设定值时激活，需压力低于滞后值解除）。
顶部面板组件
连接器：包含 5 针微型数字通信连接器（DeviceNet 通信接口）、25 针 D 型 female 辅助连接器（传感器供电、报警继电器输出、RS-232 通信）、9 针 D 型 male 外部电源连接器（阀门供电）、2 个 15 针 D 型 female 模拟传感器连接器（高 / 低传感器电源与压力输入）。
指示灯与开关：
阀门位置指示灯：“OPEN”（红色）点亮表示阀门完全打开，“CLOSE”（红色）点亮表示完全关闭。
手动阀门开关：按钮式开关，可手动驱动阀门至开 / 关位置。
跳闸点指示灯：跳闸点激活时绿色点亮。
DeviceNet 状态灯：含模块状态灯（绿 / 红双色）和网络状态灯（绿 / 红双色），电源启动序列符合 ODVA DeviceNet 规范，模块状态灯绿色常亮表示正常，红色常亮表示不可恢复故障；网络状态灯绿色常亮表示通信链路正常且已建立连接，绿色闪烁表示在线但无连接，红色常亮表示严重链路故障。
配置开关：
波特率开关：4 位旋转开关，可选 PGM（从非易失性存储器读取）、125 Kb、250 Kb、500 Kbps。
MAC ID（节点地址）开关：2 个 10 位旋转开关，设置节点地址（0-63），左侧设十位（MSD），右侧设个位（LSD）；地址 > 63 时等同于 “PGM” 位置。
安装指南
拆箱与检查
拆箱流程：MKS 采用专业包装确保设备完好，收到后需检查阀门是否有破损、连接器损坏等运输损伤，未确认安全前不要丢弃包装材料。
问题处理：若发现损坏，立即通知承运商和 MKS；如需退回设备，需先从 MKS 服务中心获取 ERA 编号（设备退回授权号），手册封底内侧列出 MKS 校准服务中心列表；仅允许合格人员安装调试，需遵守 ESD 防护和操作规范。
标准配件：包含 T3B 单元、T3B 带 DeviceNet 接口使用手册、MKS T3B/T3P 带 DeviceNet 接口补充手册（编号 138993-P1，安装需参考此补充手册）。
接口电缆要求
电缆规格：需使用全金属编织屏蔽电缆（两端正确接地）以符合 CE 认证；MKS 提供全系列电缆，若自行制作，需满足：屏蔽层覆盖所有导线（铝箔或螺旋屏蔽效果不足，可能影响合规性）；连接器金属外壳与电缆屏蔽层全周长直接接触（避免飞线导致屏蔽效果下降）；连接器与控制器外壳良好接触（约 0.01 欧姆，接地环绕所有导线）；考虑电压等级、导线 I²R 发热、IR 压降、快信号电缆的电容电感、内部导线屏蔽需求。
连接方式：提供两种屏蔽电缆连接方法（优先使用电缆夹固定屏蔽层，无电缆夹时可将屏蔽层绞合后通过垫圈固定），确保屏蔽层接地且导线贴合外壳。
安装环境与位置
环境要求：环境工作温度范围为 20°C-40°C，工作湿度 0%-95%（非冷凝），存储温度范围 - 20°C-80°C。
安装位置：可安装在真空排气管路（需合适接头），为实现最佳压力控制，压力传感器和 T3B 应尽可能靠近工艺腔室，减少时间常数；传感器与腔室连接管需小于 6 英寸且直径不小于 1/4 英寸，若超过 6 英寸需使用更大直径管道补偿电导损失。
系统配置与电气连接
典型配置：系统包含 DeviceNet 网络主机（发送设定值、接收压力 / 位置 / 诊断数据）、24 VDC 阀门电源、传感器电源（可选 ±15 VDC）、T3B 单元、模拟 Baratron 传感器，报警继电器输出可接入外部报警设备。
接地要求：若从 DeviceNet 网络取电，需符合 ODVA DeviceNet 规范（第 I 卷）的接地要求。
连接器引脚定义：
数字通信连接器（5 针）：1 脚（Drain）、2 脚（V+）、3 脚（V-）、4 脚（CAN_H）、5 脚（CAN_L）。
辅助连接器（25 针）：含接收数据（RX）、发送数据（TX）、压力输出（A Out）、位置输出（A Out）、2 组继电器（常开 / 常闭 / 公共端）、阀门开 / 关状态（数字输出）、联锁（数字输入）、模拟地、数字地、机壳地等，11-13 脚为模拟信号相关，14-19 脚为继电器，20-22 脚为数字状态与输入，24-25 脚为地。
模拟传感器连接器（15 针，高低传感器引脚相同）：2 脚（压力输入 +）、5 脚（传感器电源返回）、6 脚（-15 V）、7 脚（+15 V）、12 脚（压力输入 -）、14 脚（+24 V 电源输出）、15 脚（机壳地），其余脚无连接。
外部电源连接器（9 针）：1-2 脚（+24 V 输入）、3-4 脚（24 V 返回）、5 脚（+15 V 辅助输入，用于仪表）、6 脚（15 V 返回）、7 脚（-15 V 辅助输入，用于仪表）、8 脚（预留）、9 脚（机壳地）。
启动流程
上电顺序：先给 DeviceNet 网络供电，再给 T3B 供电；上电时设备检查通信链路、EEPROM 和 RAM 内部诊断，结果通过顶部状态 LED（颜色与闪烁状态）指示。
LED 启动序列：模块状态 LED 先绿红交替闪烁（各约 0.25 秒）后变绿；网络状态 LED 先绿红交替闪烁（各约 0.25 秒）后熄灭；初始化完成后，模块状态 LED 常亮绿色；无其他网络设备时，网络状态 LED 保持熄灭；有其他设备时，网络 LED 在重复 MAC 检查期间及建立连接前闪烁绿色。
预热时间：安装上电后，控制器预热时间少于 1 分钟。
操作指南
操作模式
用户模式：默认上电模式，为正常操作模式。
校准模式：用于访问特定校准和操作参数，两种模式下设备功能一致，但网络访问某些属性的权限可能受限制（具体权限参考补充手册中对象属性表）。
通信配置
波特率与 MAC ID 设置：可通过软件（DeviceNet 协议网络命令）或手动（顶部旋转开关）设置。上电时，若开关在 “PGM” 位置，从非易失性存储器读取波特率 / 地址，网络可修改参数，开关位置变化需断电重启生效；若开关不在 “PGM” 位置，直接读取开关值，网络修改请求被拒绝并返回 “Attribute_Not_Settable” 错误码。
通信规格：支持 125/250/500 Kbps 波特率；网络拓扑为线性（干线 / 分支线），电源与信号共用同一电缆；最多支持 64 个节点；显式消息通信延迟 < 50 毫秒（平均 < 25 毫秒），I/O 轮询消息延迟 < 4.5 毫秒（平均 < 1.5 毫秒）；具备模块状态（绿 / 红）和网络状态（绿 / 红）LED 指示。
核心操作功能
参数设置与监测：通过 DeviceNet 网络可设置和报告设定值（压力 / 位置）、阀门方向（正向 / 反向）、压力值及单位、阀门位置、跳闸点值 / 滞后 / 延迟 / 状态，监测系统状态、报告运行时间、设置阀门软启动；存储设备标识信息（制造商信息、型号序列号、出厂校准数据、软硬件版本号）。
LEARN 功能操作：需先在阀门软件界面输入腔室体积（升），不确定时可开启体积估算器（自动学习期间确定体积）；配置正确压力传感器量程；获取推荐学习流量并设置实际流量；启动学习后保持流量稳定直至完成，学习过程中阀门移动并记录压力数据，若流量偏离推荐值（过高导致传感器饱和、过低影响泵速曲线准确性），需调整流量后重新学习。
维护与故障排除
日常维护
常规检查：无特殊维护需求，仅需正确安装和操作；定期检查电缆磨损情况和外壳损坏迹象；用湿布定期擦拭设备表面。
设备退回：若需退回 MKS 维修，需先获取 ERA 编号；退回设备必须不含有害、腐蚀性、放射性或有毒物质。
故障排查
通用故障：
阀门关闭时电导不达标：可能为挡板密封磨损或损坏，需联系工厂获取密封更换套件。
25 针 I/O 连接器联锁缺失（22-24 脚）：需将 22 脚与 24 脚连接，或验证外部联锁接线。
阀门不开启 / 关闭：检查 24 V 电源是否正常接入阀门端子，或阀门故障（需送至 MKS 维修）；同时确认联锁接线。
压力控制失效（报告满量程 / 低 / 零）：传感器断开（重新连接）或压力计未供电（检查电源）。
压力控制振荡 / 效果差：PID 模式需优化增益和相位，模型基模式需重新学习泵速曲线；控制偏移可能为接地阻抗过高（通过 MKS 阀门 GUI 判断是调试还是接地问题）；特定压力范围控制差可能为交叉点设置错误（配置安装压力计的交叉压力）。
无法达到目标压力：挡板密封磨损或损坏（更换密封）。
报告负压力 / 异常压力：压力计未调零（调零）、未供电（检查电源）；压力计满量程设置错误（配置正确量程）、电压范围错误。
泵速学习失败：压力计未接高量程（需接高量程后重试）。
通信故障：
RS-232 通信失败：检查波特率、数据位、校验位、CR-LF 设置，或电缆接线问题。
DeviceNet 通信失败：检查 MAC 地址和波特率设置，或网络电源是否正常。
故障指示灯含义：
模块状态 LED：常绿（正常）、闪绿（视觉指示）、常红（不可恢复故障）、闪红（轻微故障，如联锁未启用）、熄灭（无电源）、红绿交替（自检）。
网络状态 LED：常绿（通信链路正常，在线且连接建立）、闪绿（在线但无建立连接）、常红（严重链路故障，如重复 MAC 地址或总线关闭）、闪红（连接超时）、红绿交替（初始化）、熄灭（未在线，如未完成重复 MAC 检查或未供电；单设备网络时，无连接前保持熄灭为正常）。
故障类型：
轻微故障：MAC ID 或波特率开关在运行中更改、安全联锁打开（仅 T3P 含气联锁）、控制器错误，通过异常状态位报告（参考补充手册），设备保持运行状态。
严重故障：自检时检测到 EEPROM 硬件问题或 RAM 内存问题，模块状态 LED 常红，设备进入严重故障状态，无法响应网络服务，需联系 MKS。
附录信息
产品规格（附录 A）
数字通信：波特率开关为 4 位用户可调旋转开关，支持硬件控制（125/250/500 Kbps）和软件覆盖（PGM，读取非易失性存储器）；总线寻址为主从信息流；MAC ID 为 2 个 10 位可调旋转开关（00-63，64-99 等同于 PGM）；网络拓扑为线性（干线 / 分支线），最多 64 节点；具备模块和网络状态 LED 指示。
电气规格：符合 EMC 指令 2004/108/EEC、产品安全指令 92/59/EEC、机械指令 89/392/EEC、低电压指令 73/23/EEC；安装类别为 II（EN 61010-1），污染等级为 2（IEC 664）；模拟输出含压力和位置输出，报警继电器（2 个）额定 30 VDC @ 250 mA；电源要求 24.0 VDC @ 3 Amp（电机驱动 2 Amp，压力传感器最高 750 mA）。
环境规格：工作温度 20°C-40°C，工作湿度 0%-95% RH（非冷凝），存储温度 - 20°C-80°C。
型号代码说明（附录 B）
型号结构：以 “T3BIA XXX Y Z A B C VV”（RoSH 版本为 T3BIB）为例，各部分含义：
“T3BIA”：仪器型号。
“XXX”：阀门孔径（毫米）和法兰类型，如 20 mm（KF-25 为 19K、KF-40 为 20K）、1 英寸（KF-40 为 01K）、2 英寸（KF-50 为 02K）等。
“Y”：阀门类型，2 为非密封直驱，3 为低电导 F 密封直驱。
“Z”：耐热性，1 为标准（最高 105°C），2 为可选（最高 150°C）。
“A”：阀轴密封材料，V 为 Viton、C 为 Chemraz E38、D 为 Chemraz 592、K 为 Kalrez 8085、L 为 Kalrez 4079。
“B”：通信方式，9 为 DeviceNet、2 为 RS-232、0 为模拟 / TTL。
“C”：压力传感器电源，1 为无，2 为 ±15 VDC @ 650 mA（总计）。
“VV”：固件版本（两位代码，默认发运当前版本）。
尺寸图纸（附录 C）
提供不同法兰类型（KF-25、KF-40、KF-50、NW-63、NW-80、NW-100）的 T3B 阀门外形尺寸图，标注英寸（毫米）尺寸，包括长度、宽度、孔径、安装孔位置与尺寸等，如 KF-25 法兰阀门总长约 10.44 英寸（265.2 毫米），宽度 4.25 英寸（107.9 毫米）。
索引（附录 D）
按字母顺序列出手册关键内容（如环境温度、连接器、控制模式、LED、维护、型号代码等）及其对应页码，方便快速查找。
