ZYGO ZMI 2000系统位移测量干涉仪系统
位移测量干涉法提高了定位精度。Zygo的ZMI 2000是业界性能最好的位移测量干涉仪（DMI）系统，为实时位置控制提供最高分辨率、最高速度和最低数据年龄不确定性。Zygo是一家世界级的干涉计量公司，在设计、工程和制造的各个层面为您提供支持。Zygo是您的研究、工程和生产团队的延伸，提供计量解决方案。
ZMI 2000的性能优势
•定位精度——消除了速度和时间相关误差。所有运动轴都同步到≤1.7 ns的不确定性。
•重叠精度——λ/2048分辨率（0.31 nm），配备2道干涉仪，具有出色的重叠和对准能力。
•系统吞吐量——使用20英寸的双通道干涉仪，转换速率为2.1米/秒
MHz外差分频
ZMI 2000系统适用于要求最苛刻的反馈控制应用：
•光刻工具：光学步进器和扫描仪、电子束和激光掩模写入器。
•掩模、晶片和LCD检查和测量工具、CD-SEM。
•工艺设备、内存修复工具。
ZMI 2000在实时位置控制方面的集成优势
•降低热量、成本和ESD灵敏度，改善电气隔离，并最小化封装尺寸
光纤电缆用于参考和测量腿。
•降低背板空间要求的成本
ZMI 2002在单个6U VME板上提供两个干涉测量轴。
•简化集成时间，降低设计成本——测量板可通过接口总线（VME或ISA）或P2接口完全编程。
•降低集成成本——标准硬件接口可实现高达16个轴的7.7 MHz P2数据速率。易于扩展，以相同的速率容纳更多轴。
ZMI 2000作为一种计量系统，具有无与伦比的性能和灵活性。ZMI 2000的所有性能优势，包括以下集成选项：
•ZMI系统机箱，带PCI-VME，用于处理器速度的实时数据，
•配备串行或GPIB接口的ZMI系统机箱，提供更具成本效益的解决方案，
•ZMI PC，用于集成到ISA插槽中。
ZMI 2000系统在全球标准实验室中用于高分辨率和高频机械运动的测量和校准：
•压电传感器校准，
•线性刻度校准，
•旋转秤校准，
•AFM载物台校准。
ZMI 2000系统激光头
激光源可能是位移测量干涉仪中最关键的部件。为了控制和保证激光头质量，Zygo生产自己的激光管。
专有的管设计，结合最先进的组装和测试设施，提供了一种高度可靠的激光头，具有：
•寿命>50000小时，
•最长基本保修期为18个月，
•延长保修期长达5年，
•单个头上最多8个干涉测量轴，
•多头同步。
ZMI 2000系统集成特性
•激光头输出的光功率监测器，
以及测量板输入。
•内置激光头诊断功能。
•位置、时间和速度，均在P2或VMEbus上独立可用。
•可编程同步信号。
•测量板可用于任何标准6U VME或ISA背板。
ZMI 2000系统技术与我们位于康涅狄格州米德尔菲尔德的世界级光机设计和制造中心相结合，使Zygo Corporation成为您成功设计、制造和集成实时位置控制系统的关键合作伙伴。
