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HORIBA SEC-Z500X 系列数字式质量流量控制器
时间: 2026-04-29浏览次数：
HORIBA SEC-Z500X 系列数字式质量流量控制器
HORIBA SEC-Z500X 系列数字式质量流量控制器
SEC-Z500X是HORIBA STEC推出的面向半导体制造的高性能数字质量流量控制器，具备 **±1.0% S.P.高精度、≤1 秒全量程高速响应、多气体 / 多量程现场可调、RoHS 合规等核心优势，支持RS-485/DeviceNet/EtherCAT多种通信，采用316L 不锈钢润湿材质，氦气泄漏率≤5×10⁻¹² Pa·m³/s，可通过专用软件实现参数配置与状态监控，全球市场份额超30%**，是半导体制程气体控制的核心设备。
产品基础信息
产品系列：SEC-Z500X数字式质量流量控制器（MFC），SEF-Z500X为质量流量计（MFM）。
应用场景：半导体制造工艺气体流量精确控制。
环保认证：RoHS 合规，限制铅、汞等 6 种有害物质。
生产与服务：总部京都、日本 Aso 工厂、美国双基地生产，全球分支提供技术支持。
核心性能指标
性能项 关键参数
控制精度 流量 > 25% F.S.：±1.0% S.P.；≤25% F.S.：±0.25% F.S.
响应速度 全量程 **≤1 秒 **（可变 PID 系统）
线性补偿 五次多项式曲线补偿
泄漏率 ≤5×10⁻¹² Pa·m³/s（He）
重复性 ≤±0.2% F.S.
工作温度 5~50℃（推荐 15~45℃）
工作压差 50~300 kPa (d)；大口径型号 100~300 kPa (d)
耐压 1000 kPa(g)
润湿材质 316L 不锈钢（抛光处理）
核心功能优势
多气体 & 多量程可调
用户可现场更改气体类型与满量程流量，无需拆卸气路与管路。
专用配置软件支持一键选择MR/MG 编号，降低备件库存与成本。
高精度校准
采用NIST 可追溯标准流量系统校准。
内置海量工艺气体特性数据库，适配毒性、挥发性气体。
高速控制
搭载可变 PID 算法，全量程设定点响应均达1 秒，优于传统模拟型 3~5 秒。
通信与监控
支持RS-485/DeviceNet/EtherCAT三类工业总线。
eDiagnostic 软件实现实时监控、预警、日志记录，支持预防性维护。
型号与接口
型号规则：SEC = 控制器；SEF = 流量计；数字代表量程；2 = 数字 / 模拟、4=DeviceNet、7=EtherCAT；MGX = 多气体多量程版。
量程覆盖：0.5 SCCM ~ 500 SLM（N₂换算）。
阀型：常开 O / 常闭 C。
标准接口：1/4 英寸、1/2 英寸 VCR；可选 1.125/1.5 英寸 IGS。
供电：数字 / 模拟型 **±15V DC**；DeviceNet/EtherCAT 型24V DC。
软件与系统
配置软件：Windows 系统适配，现场修改气体、量程、地址等参数。
监控软件：支持 LAN/TCP/IP，单服务器监控多台设备，异常报警与数据记录。
通信接线：RS-485 用 RJ45；模拟用 D-Sub 9 针；DeviceNet 用微型屏蔽接头。
关键问题与答案
问题 1：SEC-Z500X 相比传统模拟 MFC 的核心优势是什么？
答案：核心优势为全量程≤1 秒高速响应（可变 PID）、现场多气体 / 多量程免拆可调、±1.0% S.P. 更高精度、支持数字总线通信与eDiagnostic 预防性监控，同时 RoHS 合规，大幅降低备件与维护成本。
问题 2：SEC-Z500X 的精度指标与适用条件是什么？
答案：精度分两档 —— 流量 **>25% F.S.时为±1.0% S.P.；流量≤25% F.S.时为±0.25% F.S.；校准具备NIST 可追溯性 **，通过五次多项式补偿线性度，适配半导体各类工艺气体，精度满足SEMI 标准。
问题 3：SEC-Z500X 支持哪些通信方式，对应哪些型号与接口？
答案：
数字 / 模拟（RS-485）：型号带2（如 SEC-Z512MGX），接口 RJ45+D-Sub 9 针，速率38400 bps；
DeviceNet：型号带4（如 SEC-Z514MGX），符合 ODVA 标准，24V DC供电；
EtherCAT：型号带7（如 SEC-Z517MGX），符合 ETG 标准，双 RJ45 口。
