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XP POWER CDX 系列1500W 双频射频电源
时间: 2026-01-07浏览次数：
XP POWER CDX 系列1500W 双频射频电源
XP POWER CDX 系列1500W 双频射频电源
产品概述
产品名称：CDX 系列双频射频电源（Dual Frequency RF Power Supplies）
核心定位：为需要双频射频驱动的工业场景（如半导体、等离子体处理等）设计的高功率、高精度电源设备
核心优势：双频灵活选择、高输出精度与稳定性、多通信接口适配、严苛环境与合规兼容
物理与安装特性：
尺寸：483mm×133mm×457mm（19"W×5.25"H×18"D）
重量：最大 18kg（39lb.）
安装方式：标准 19 英寸 EIA 机架式
外观：全表面喷漆或镀锌铬酸盐涂层，前端配备双把手
警示标识：含危险电压、重物、高温及射频能量等 IEC 标准安全标识
电气规格详情
（1）输入参数
特性 规格 备注
输入电压 208/400/480VAC 三相无中性线，带接地
输入频率 50/60Hz 标称值
输入电流 7.5A / 相 基于 480VAC 输入，随输出规格变化
（2）输出参数
特性 规格 备注
单路输出功率 最高 1500W 连续正向功率，50Ω 负载
输出精度 / 调节 ±2W 或 ±1.0%（取较大值） 10%-100% 最大输出范围
短期稳定性 ±1.0% 连续输出 1 小时，10%-100% 设定点
长期稳定性 ±3.0% 连续输出 3 年，10%-100% 设定点
上升时间 <200ms 从使能信号前沿到 90% 请求功率
可用频率（每路） 400kHz、2MHz、13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz、60MHz 可选择任意两个频率
频率稳定性 ±0.005% -
零设定点输出 <1.0W 实际功率，<1.0W 回读功率 设定信号为零或负值时
谐波信号 < -40dBc -
杂散信号 < -40dBc -
AM&FM 噪声 < -40dBc 50kHz 偏移时
散热与环境要求
（1）散热参数
散热方式 要求细节 备注
冷却类型 水冷 强制要求，无风冷替代选项
进水流量 最小 8.6L/m（2GPM） 最大压力 414kPa（60psi）
进水温度 5°C-25°C（40°F-77°F） 水温超出范围可能影响散热效率
冷却介质 水 无特殊水质要求说明
（2）环境适应性
环境条件 工作范围 存储 / 运输范围
温度 10-40°C（50-104°F） -25-70°C
湿度 5-85% RH（非冷凝，无结冰） 5-95% RH（非冷凝，无结冰）
气压 86-106kPa 70-106kPa
进气要求 最高 30°C（95°F） -
标准等级 温度 / 湿度 / 气压 Class 3K3（prEN50178） 温度 Class 1k4、湿度 Class 1k3、气压 Class 1k4
功能与接口
（1）核心功能
可选功能：脉冲模式操作（单级 / 多级 / 同步 / 高级包络控制）、频率捷变、自动频率调谐（最小化反射功率）、快速关断（电弧管理）、公共激励器（CEX，多电源同步时钟）
安全与状态监测：前端 LED 指示灯（AC 开启、射频开启、联锁状态、故障状态），20×2 字符字母数字显示屏（显示所有运行参数）
（2）通信与连接接口
接口类型 规格详情 用途
数字通信 DeviceNet（M12 接口）、EtherCAT 工业总线控制与数据传输
串行通信 RS232 点对点串行控制
模拟接口 模拟信号输入 / 输出 模拟量控制与功率回读
合规与认证
安全合规：EN 61010-1:2010、UL 61010-1:2012、CSA C22.2 No. 61010-1:2012
性能合规：通过 SEMI F47-0200 电压跌落 immunity 测试，满足三星 Power Vaccine 要求
认证标识：合规系统带有 TUV 安全 / EMC 标识（符合最新国际标准）
